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刻蝕設備國產化率達到18%，比率處于逐年上升態勢（附報告目錄）

1、刻蝕設備行業概述

集成電路設備包括晶圓制造設備、封裝設備和測試設備等，晶圓制造設備的市場規模占比超過集成電路設備整體市場規模的80%。

相關報告：北京普華有策信息咨詢有限公司《刻蝕設備行業細分市場深度調研與投資投資可行性分析報告（2020-2026年）》

晶圓制造設備從類別上講可以分為刻蝕、光刻、薄膜沉積、檢測、涂膠顯影等十多類，其合計投資總額通常占整個晶圓廠投資總額的75%左右，其中刻蝕設備、光刻設備、薄膜沉積設備是集成電路前道生產工藝中最重要的三類設備?？涛g（Etch）是IC制造中相當重要的工藝，成本僅次于光刻（刻蝕20%，光刻30%），與光刻相聯系的圖形化處理。刻蝕，狹義上就是光刻腐蝕，先通過光刻將光刻膠進行光刻曝光處理，然后通過其它方式實現腐蝕處理掉所需除去的部分。刻蝕是用化學或物理方法有選擇地從硅片表面去除不需要的材料的過程，其基本目標是在涂膠的硅片上正確地復制掩模圖形。

按照原理不同，刻蝕可分為干法和濕法兩種，其中干法刻蝕工藝占比90%以上。干法刻蝕是用等離子體進行薄膜刻蝕的技術，濕法刻蝕是將刻蝕材料浸泡在腐蝕液內進行腐蝕的技術，濕法刻蝕由于需要大量對人體和環境有害的腐蝕性化學試劑，逐步被干法刻蝕替代。

按被材料不同，刻蝕可分為硅刻蝕、介質刻蝕和金屬刻蝕等，其市場占比分別為47%、48%和3%。介質刻蝕是用于介質材料的刻蝕，如二氧化硅，接觸孔和通孔結構的制作需要刻蝕介質，而具有高深寬比（窗口的深與寬的比值）的窗口刻蝕具有一定的挑戰性。硅刻蝕應用于需要去除硅的場合，如刻蝕多晶硅晶體管柵和硅槽電容。金屬刻蝕主要是在金屬層上去掉鋁合金復合層，制作出互連線。

2、全球刻蝕設備行業市場規模分析

隨著集成電路制造線寬不斷縮小、芯片結構3D化，互連層數增多，帶動刻蝕和鍍膜需求增多，從2013年之后，刻蝕設備在產線中價值占比顯著提升。目前，全球刻蝕設備市場以介質刻蝕和硅刻蝕為主，分別占比合約48%和47%，而金屬刻蝕僅3%，這與2010年后整個集成電路工藝從鋁互連（刻蝕鋁金屬）轉向銅互聯（刻蝕介質）有關，金屬刻蝕與介質刻蝕此消彼長。

先進制程及芯片微縮帶動設備需求，刻蝕行業迎增量。受限于193nm的浸沒式光刻機限制，晶圓制造向7納米、5納米以及更先進的工藝發展，除了采用昂貴的EUV光刻機之外，14nm及以下的芯片制造很多都通過多重模板效應來實現制程微縮，刻蝕加工步驟增多。10nm制程是關鍵節點，相較于14nm，其刻蝕步驟為115步，增加77%，到5nm制程刻蝕步驟將是14nm的2.5倍及以上。

2014-2016年全球刻蝕設備市場規模處于60億美元左右震蕩態勢。2017、2018年增長率出現突破式增長，尤其是2017年增長率高達41%以上，到2018年市場規模創出新高，突破100億美元。預計未來幾年，全球刻蝕設備行業規模將處于穩健增長趨勢。

2014-2018年全球刻蝕設備市場規模增長分析

資料來源：普華有策市場研究中心

3、全球刻蝕設備行業競爭格局分析

從全球市場分析，在需求增長較快的刻蝕設備領域，行業集中度較高，泛林半導體占據刻蝕設備市場份額半壁江山。泛林半導體市場份額約55%，東京電子其次，市占率約20%，應用材料與東京電子相當，市占率約19%。

4、刻蝕設備國產化程度分析

目前，刻蝕機國產化率達到18%，晶圓加工核心設備中國產化率占比最高的，且比率處于逐年上升態勢。中微公司和北方華創市場份額占比較大，國產化貢獻率較高。根據中芯國際、長江存儲和合肥睿力的招標情況看，從中微采購的刻蝕機臺數占整體刻蝕機臺采購比例約15-20%，逼近東京電子和應用材料，進步明顯。

相比國際企業來說，國產刻蝕設備品類還不夠完整，針對不同工藝的刻蝕設備逐步驗證和量產。中微國際大廠泛林半導體和應用材料可實現CCP和ICP、介質/硅/金屬刻蝕、7nm及以上的全方位覆蓋，中微公司和北方華創尚未實現全覆蓋。中微介質刻蝕設備較強，該企業5nm蝕刻設備已經獲得批量訂單?？蛻舭ㄅ_積電、三星、中芯國際等國內外大廠，其用于多晶硅柵工藝的硅刻蝕設備正在驗證中。北方華創在介質刻蝕和硅刻蝕設備均由布局，用于淺槽隔離的介質刻蝕設備已量產，硅刻蝕設備也已量產，金屬刻蝕設備也有布局，擁有中芯國際、華虹、華力等國內一流客戶。

5、主要競爭企業分析

（1）泛林半導體

公司成立于1980年，系美國納斯達克證券交易所上市公司（股票代碼：LRCX），主要從事半導體設備的研發、生產和銷售，主要產品包括刻蝕設備、薄膜沉積設備、晶圓清洗設備、光致抗蝕設備等。泛林半導體于2001年在上海成立了全資子公司“泛林半導體設備技術（上海）有限公司”。

（2）東京電子

公司成立于1963年，系東京證券交易所上市公司（股票代碼：8035），主要從事半導體設備的研發、生產和銷售，主要產品包括熱處理成膜設備、等離子刻蝕機、單晶圓沉積設備、表面處理設備、晶圓測試設備、涂膠機和顯影機等。

（3）應用材料

公司成立于1967年，系美國納斯達克證券交易所上市公司（股票代碼：AMAT），主要從事半導體設備的研發、生產和銷售，主要產品包括原子層沉積設備、化學薄膜沉積設備、電化學沉積設備、物理薄膜沉積設備、刻蝕設備、快速熱處理設備、離子注入機、化學機械拋光設備等。

（4）維易科

公司成立于1945年，系美國納斯達克證券交易所上市公司（股票代碼：VECO），主要從事薄膜加工設備的研發、生產和銷售，主要產品或技術包括MOCVD設備、分子束外延、光刻設備等。

（5）愛思強

公司成立于1983年，系法蘭克福證券交易所上市公司（股票代碼：A0WMPJ），主要從事沉積系統設備的研發、生產和銷售，主要產品包括MOCVD設備、有機薄膜沉積設備、聚合物薄膜沉積設備、等離子體增強化學薄膜沉積設備和化學薄膜淀積設備等。

（6）北方華創

北方華創成立于2001年，系深圳證券交易所上市公司（股票代碼：002371），主要從事基礎電子產品的研發、生產、銷售和技術服務業務，主要產品包括刻蝕機、物理氣相沉積設備、化學氣相淀積設備、氧化爐、擴散爐、清洗機及鋰電極片裝備等半導體設備及零部件。

（7）中微公司

中微公司涉足半導體集成電路制造、先進封裝、LED生產、MEMS制造以及其他微觀工藝的高端設備領域，瞄準世界科技前沿，堅持自主創新。公司的等離子體刻蝕設備已在國際一線客戶從65納米到14納米、7納米和5納米的集成電路加工制造及先進封裝中有具體應用。公司的MOCVD設備在行業領先客戶的生產線上大規模投入量產，公司已成為世界排名前列、國內占領先地位的氮化鎵基LED設備制造商。

報告目錄

第一章刻蝕設備行業發展概述

第一節刻蝕設備行業定義及分類

一、行業定義

二、行業主要產品分類

三、行業主要商業模式

第二節刻蝕設備行業特征分析

一、產業鏈分析

二、刻蝕設備行業在國民經濟中的地位

第三節刻蝕設備行業產業鏈分析

第二章刻蝕設備行業技術現狀與趨勢預測分析

第一節刻蝕設備材料與外延技術現狀及趨勢預測分析

一、設備技術現狀及趨勢預測分析

二、襯底現狀及趨勢預測分析

三、外延技術現狀及趨勢預測分析

四、無熒光粉單芯片白光LED技術

五、其他顏色LED技術現狀及趨勢預測分析

第二節刻蝕設備工藝現狀及趨勢預測分析

一、正裝芯片

二、垂直結構芯片

三、倒裝芯片

四、高壓交/直流驅動LED

五、CSP（芯片級封裝）

第三章全球刻蝕設備行業發展分析

第一節全球刻蝕設備行業特點分析

第二節全球刻蝕設備行業規模分析

一、全球LED行業MOCVD數量分析

二、全球刻蝕設備行業產值規模分析

第三節國外刻蝕設備典型企業分析

第四章我國刻蝕設備行業發展分析

第一節我國刻蝕設備行業發展狀況分析

一、我國刻蝕設備行業發展階段

二、我國刻蝕設備行業發展總體概況

三、我國刻蝕設備行業發展特點分析

四、我國刻蝕設備行業商業模式分析

第二節我國刻蝕設備行業市場供需情況分析

一、2015-2019年我國刻蝕設備行業市場供給分析

二、2015-2019年我國刻蝕設備行業市場需求分析

三、2015-2019年我國刻蝕設備行業產品價格分析

第三節我國刻蝕設備市場價格走勢分析

一、刻蝕設備市場定價機制組成

二、刻蝕設備市場價格影響因素

三、刻蝕設備產品價格走勢分析

第五章刻蝕設備行業細分產品市場調研分析

第一節刻蝕設備行業細分產品——**市場調研

一、**發展現狀調研

二、**發展趨勢預測分析

第二節刻蝕設備行業細分產品——**市場調研

一、**發展現狀調研

二、**發展趨勢預測分析

第六章中國刻蝕設備行業應用市場調研

第一節刻蝕設備主要應用領域分析

第二節背光市場現狀及趨勢預測

一、背光市場現狀分析

二、背光市場規模分析

三、背光市場競爭格局

四、背光市場趨勢預測

第三節顯示屏市場現狀及趨勢預測

一、顯示屏市場現狀分析

二、顯示屏市場規模分析

三、顯示屏市場競爭格局

四、顯示屏市場趨勢預測

第四節照明市場現狀及趨勢預測

一、照明市場現狀分析

二、照明市場規模分析

三、照明市場競爭格局

四、照明市場趨勢預測

第五節其他應用市場現狀及趨勢預測

一、LED植物照明

二、LED汽車照明

三、UV LED應用

第七章刻蝕設備行業上下游產業分析

第一節刻蝕設備產業結構分析

第二節上游產業分析

一、發展現狀調研

二、發展趨勢預測分析

三、市場現狀分析

四、行業競爭狀況及其對刻蝕設備行業的意義

第三節下游產業分析

一、發展現狀調研

二、發展趨勢預測分析

三、市場現狀分析

四、行業新動態及其對刻蝕設備行業的影響

五、行業競爭狀況及其對刻蝕設備行業的意義

四、產業結構調整方向分析

第四節產業結構調整方向分析

第八章中國刻蝕設備行業主要企業調研分析

第一節A

一、基本狀況分析

二、運營能力分析

三、發展能力分析

四、產品結構及新產品動向

第二節B

一、基本狀況分析

二、運營能力分析

三、發展能力分析

四、產品結構及新產品動向

第三節C

一、基本狀況分析

二、運營能力分析

三、發展能力分析

四、產品結構及新產品動向

第四節D

一、基本狀況分析

二、運營能力分析

三、發展能力分析

四、產品結構及新產品動向

第五節E

一、基本狀況分析

二、運營能力分析

三、發展能力分析

四、產品結構及新產品動向

第九章刻蝕設備行業發展趨勢預測

第一節2019年產業發展環境展望

第二節2020-2026年我國刻蝕設備行業趨勢預測

一、2020-2026年我國刻蝕設備行業發展趨勢預測

1、技術發展趨勢預測

2、產品發展趨勢預測

3、產品應用趨勢預測

二、2020-2026年我國刻蝕設備行業市場發展空間

三、2020-2026年我國刻蝕設備行業政策趨向

四、2020-2026年我國刻蝕設備行業價格走勢分析

五、2019年行業競爭格局展望

六、2020-2026年刻蝕設備市場規模預測分析

第三節影響企業生產與經營的關鍵趨勢預測分析

一、市場整合成長趨勢預測分析

二、需求變化趨勢及新的商業機遇預測分析

三、企業區域市場拓展的趨勢預測分析

四、科研開發趨勢及替代技術進展

五、影響企業銷售與服務方式的關鍵趨勢預測分析

第十章2020-2026年中國刻蝕設備的投資前景與投資建議

第一節2020-2026年中國刻蝕設備制造行業的投資前景

一、市場風險

二、政策風險

三、技術風險

四、行業進入、退出壁壘風險

五、部分產品產能過剩潛在風險

第二節2020-2026年中國刻蝕設備制造行業的投資建議

一、中國刻蝕設備制造行業的重點投資區域

二、中國刻蝕設備制造行業的重點投資產品

三、行業投資建議

第三節2020-2026年中國刻蝕設備項目投資可行性分析

第十一章研究結論及發展建議

第一節刻蝕設備行業研究結論及建議

第二節刻蝕設備行業發展建議