半導體測試系統又稱半導體自動化測試系統,與半導體測試機同義。兩者由于翻譯的原因,以往將 Tester 翻譯為測試機,諸多行業報告沿用這個說法,但現在越來越多的企業將該等產品稱之為 ATE system,測試系統的說法開始流行,整體上無論是被稱為 Tester 還是 ATE system,皆為軟硬件一體。
根據半導體工藝流程,激光打標設備分為前道晶圓生產環節和后道封測環節。其中,前道激光打標設備通常與切割或視覺檢測系統及其他機械自動化模塊集成為激光一體化設備,設備價值比較高,技術難度大,目前主要以進口設備為主。對于后道封測環節的激光打標設備,國內企業經過多年的技術創新和應用經驗積累,目前技術比較成熟,國產激光打標設備占比超過 50%,但在全自動激光打標應用領域,由于技術門檻較高和應用推廣不足,該領域還是以德國 ROFIN、韓國 EO 等進口設備為主。
一方面,客戶要求測試設備對芯片的狀態、參數監控、生產質量等數據進行大數據分析,另一方面,隨著測試功能模塊的增多,整套測試系統的各個測試模塊測試的數據須進行嚴格對應合并,保證最終收取的數據與半導體元芯片嚴格一一對應,并以最終合并的數據進行分析對被測的芯片進行綜合分檔分級。如:汽車電子要求測試系統須滿足靜態 PAT,動態 PAT 及離線 PAT 技術的要求,即通過對測試器件關鍵參數進行統計計算得到該批次器件性能的分布,然后自動地提高測試的標準,保證測試通過的器件的一致性和穩定性。