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前道量檢測設備行業面臨的機遇和挑戰行業主要企業

半導體設備行業中，前道量檢測設備主要運用光學技術、電子束技術等測量晶圓的薄膜厚度、關鍵尺寸等，或檢測產品表面存在的雜質顆粒、機械劃傷、晶圓圖案缺陷等，貫穿光刻、刻蝕、薄膜沉積、CMP 等晶圓制造的全部工序。前道量檢測設備根據使用目的可分為測量設備和檢測設備：其中，測量設備主要是對晶圓的薄膜厚度、關鍵尺寸、套準精度、刻蝕深度、表面形貌等進行測量，以確保其符合參數的設計要求；而檢測設備主要用于識別并定位產品表面存在的雜質顆粒沾污、晶圓圖案缺陷、微觀缺陷觀測、機械劃傷等問題。

資料來源：普華有策

1、前道量檢測設備行業面臨的機遇

（1）國家政策的大力支持

半導體產業是現代經濟社會發展的戰略性、基礎性和先導性產業，已成為當前衡量一個國家或地區綜合競爭力的重要標志。為鼓勵、推動產業發展，國家出臺了一系列財政、稅收政策。2017 年 1 月，發改委發布的《戰略性新興產業重點產品和服務指導目錄》將半導體專用設備產業列入戰略性新興產業重點產品目錄。2021 年 3 月，“十四五”規劃將集成電路設計工具、重點裝備等特色工藝突破作為加強原創性、引領性科技攻關的重點任務。前道量檢測設備領域也受益于國家對半導體產業的支持政策，迎來了良好的發展機遇。

（2）下游需求持續增長

汽車電子、消費電子等終端應用領域的繁榮發展，推動了我國晶圓制造產線建設步伐加快。數據顯示，2017 年至 2020 年間，全球投產的晶圓廠約 62 座，其中 26 座設于中國大陸；至 2020 年末，全球晶圓產能達到每月 3,184萬片，其中，中國大陸晶圓產能占全球比例為 15.8%。

下游晶圓制造產線的快速建設，對前道量檢測設備需求持續增長。2016 年至 2020 年，中國大陸前道量檢測設備市場規模由 7.0 億美元增長至 21.0 億美元，年復合增長率達到 31.61%，市場規模占全球量檢測設備市場的比例由 14.71%增長至 27.45%，已成為全球增速最快且占比最大的前道量檢測設備市場。

（3）我國成熟制程產線對前道量檢測設備的需求缺口亟需緩解

由于國際龍頭企業逐步不再生產成熟制程前道量檢測設備，且前道量檢測設備的國產化率僅為 2%，我國成熟制程晶圓制造產線面臨著較大的供應缺口。前道量檢測修復設備作為市場的重要組成，有效緩解了成熟制程設備供應緊張的局面，支持了我國半導體產線的建設。

2、前道量檢測設備行業面臨的挑戰

（1）專業人才仍相對匱乏

前道量檢測設備涉及多學科技術，是典型的技術密集型、人才密集型產業。雖然我國半導體產業已儲備了一定的技術人員，但仍難以滿足市場需求的快速增長，專業人才仍相對匱乏。

（2）國內企業整體技術水平及綜合實力仍與國際先進水平存在一定差距

日本、美國等國家在前道量檢測設備領域起步較早，擁有大量的技術積累和完善的產業鏈配套環境，在經營規模、產品種類、技術水平、品牌聲譽等方面具備領先優勢，綜合實力強。我國前道量檢測設備產業起步較晚，國內企業在整體技術水平、企業規模、人才儲備、產品品類等方面仍與國際先進水平存在一定差距。

3、前道量檢測設備行業內主要企業

前道量檢測設備市場的供應格局相對集中，主要由 KLA、AMAT、Hitachi等國際龍頭企業主導，其在銷售規模、產品種類及先進程度、市場占有率等方面具備領先優勢。近年來，隨著我國半導體產業的快速發展，下游對前道量檢測設備需求快速增長，涌現了中科飛測、上海精測、睿勵儀器、無錫卓海等具備前道量檢測設備供應能力的企業，具體如下：

（1）全球主要的前道量檢測設備企業

1）KLA

KLA 是一家為半導體、印刷電路板和顯示器等行業提供工藝支持解決方案的供應商。在半導體量檢測領域，其產品線涵蓋了質量控制全系列設備。目前為美國納斯達克證券交易所上市企業，股票代碼：KLAC。

2）AMAT

AMAT 成立于 1967 年，是一家為半導體、顯示器和相關行業提供設備、服務和軟件的制造商及供應商，其產品涵蓋刻蝕設備、離子注入機、晶圓量檢測等各類半導體設備。目前為美國納斯達克證券交易所上市企業，股票代碼：AMAT。

3）Hitachi

Hitachi 成立于 1910 年，是一家涉及電力、能源、產業、流通、水、城市建設、金融、醫療健康等領域的全球 500 強企業。在半導體設備領域，其為全球第三大前道量檢測設備供應商。目前為美國紐約證券交易所上市企業，股票代碼：HTHIY。

（2）國內前道量檢測設備供應企業

1）中科飛測

深圳中科飛測科技股份有限公司專注于檢測和量測兩大類集成電路專用設備的研發、生產和銷售，產品主要包括無圖形晶圓缺陷檢測設備系列、圖形晶圓缺陷檢測設備系列、三維形貌量測設備系列、薄膜膜厚量測設備系列等。

2）上海精測

上海精測半導體技術有限公司主要從事半導體測試設備為主的研發、生產和銷售，同時也開發一部分顯示和新能源領域的檢測設備，產品主要包括膜厚測量機、激光切割機等，系武漢精測電子集團股份有限公司（精測電子，300567）的控股子公司。

3）睿勵儀器

睿勵科學儀器（上海）有限公司主要從事集成電路生產制造工藝裝備產業中的工藝檢測設備的研發、生產和銷售，主要產品包括光學薄膜測量設備、光學關鍵尺寸測量設備、缺陷檢測設備等，系中微半導體設備（上海）股份有限公司（中微公司，688012）的參股子公司。

4）吉姆西

吉姆西半導體科技（無錫）有限公司主要從事半導體修復設備和研磨液供液系統等業務，涵蓋 CMP、離子注入、量檢測、光刻、涂膠顯影、清洗等半導體修復設備，系半導體修復設備供應企業。

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目錄

第1章 前道量檢測設備行業綜述及數據來源說明

1.1 前道量檢測設備行業界定

1.1.1 前道量檢測設備的定義

1.1.2 《國民經濟行業分類與代碼》中前道量檢測設備行業歸屬

1.2 前道量檢測設備行業相關專業術語

1.3 本報告數據來源及編制說明

第2章 中國前道量檢測設備行業宏觀環境分析（PEST）

2.1 中國前道量檢測設備行業政策（Policy）環境分析

2.1.1 中國前道量檢測設備行業監管體系及機構介紹

1、中國前道量檢測設備行業主管部門

2、中國前道量檢測設備行業自律組織

2.1.2 中國前道量檢測設備行業發展相關政策規劃匯總及解讀

2.1.3 政策環境對中國前道量檢測設備行業發展的影響總結

2.2 中國前道量檢測設備行業經濟（Economy）環境分析

2.2.1 中國宏觀經濟發展現狀

2.2.2 中國宏觀經濟發展展望

2.3 中國前道量檢測設備行業社會（Society）環境分析

2.4 中國前道量檢測設備行業技術（Technology）環境分析

第3章 全球前道量檢測設備行業發展現狀及前道量檢測設備市場前景

3.1 全球前道量檢測設備行業發展歷程介紹

3.2 全球前道量檢測設備行業宏觀環境背景

3.2.1 全球前道量檢測設備行業經濟環境概況

3.2.2 全球前道量檢測設備行業經濟預測

3.3 全球前道量檢測設備行業發展現狀及市場規模體量分析

3.4 全球前道量檢測設備行業區域發展格局及重點區域市場研究

3.4.1 全球前道量檢測設備行業區域發展格局

3.4.2 全球前道量檢測設備行業重點區域市場發展狀況

1、 亞洲前道量檢測設備行業地區市場分析

（1）亞洲前道量檢測設備行業市場現狀分析

（2）亞洲前道量檢測設備行業市場規模與市場需求分析

（3）2022-2028年亞洲前道量檢測設備行業前景預測分析

2、 北美前道量檢測設備行業地區市場分析

（1）北美前道量檢測設備行業市場現狀分析

（2）北美前道量檢測設備行業市場規模與市場需求分析

（3）2022-2028年北美前道量檢測設備行業前景預測分析

3、 歐洲前道量檢測設備行業地區市場分析

（1）歐洲前道量檢測設備行業市場現狀分析

（2）歐洲前道量檢測設備行業市場規模與市場需求分析

（3）2022-2028年歐洲前道量檢測設備行業前景預測分析

4、 其他地區分析

5、 2022-2028年全球前道量檢測設備行業規模預測

3.5 全球前道量檢測設備行業市場競爭格局及重點企業案例研究

3.5.1 全球前道量檢測設備行業市場競爭格局

3.5.2全球前道量檢測設備行業重點企業案例

1、企業A

2、企業B

3、企業C

第4章 中國前道量檢測設備行業進出口貿易狀況及對外貿易依存度

4.1 全球及中國前道量檢測設備行業發展差異分析

4.2 中國前道量檢測設備行業進出口貿易整體狀況

4.3 中國前道量檢測設備行業進口貿易狀況

4.3.1 中國前道量檢測設備行業進口規模

4.3.2 中國前道量檢測設備行業進口價格水平

4.3.3 中國前道量檢測設備行業進口產品結構

4.3.4 中國前道量檢測設備行業進口來源地

4.4 中國前道量檢測設備行業出口貿易狀況

4.4.1 中國前道量檢測設備行業出口規模

4.4.2 中國前道量檢測設備行業出口價格水平

4.4.3 中國前道量檢測設備行業出口產品結構

4.4.4 中國前道量檢測設備行業出口目的地

第5章 中國前道量檢測設備行業市場供給狀況及市場行情走勢預判

5.1 中國前道量檢測設備行業發展歷程介紹

5.2 中國前道量檢測設備行業市場特性解析

5.3 中國前道量檢測設備行業市場主體類型及入場方式

5.4 中國前道量檢測設備行業市場主體數量規模

5.5 中國前道量檢測設備行業市場供給能力分析

5.6 中國前道量檢測設備行業市場供給水平分析

5.7 中國前道量檢測設備行業市場行情走勢預判

第6章 2017-2022年上半年中國前道量檢測設備行業市場需求狀況及市場規模體量分析

6.1 中國前道量檢測設備行業市場滲透狀況分析

6.2 中國前道量檢測設備行業市場飽和度分析

6.3 中國前道量檢測設備行業市場需求狀況

6.4 中國前道量檢測設備行業市場銷售狀況

6.5 中國前道量檢測設備行業市場規模體量分析

第7章 中國前道量檢測設備行業市場競爭狀況及國際市場競爭力分析

7.1 中國前道量檢測設備行業波特五力模型分析

7.1.1 中國前道量檢測設備行業現有競爭者之間的競爭分析

7.1.2 中國前道量檢測設備行業關鍵要素的供應商議價能力分析

7.1.3 中國前道量檢測設備行業消費者議價能力分析

7.1.4 中國前道量檢測設備行業潛在進入者分析

7.1.5 中國前道量檢測設備行業替代品風險分析

7.2 中國前道量檢測設備行業投融資、兼并與重組案例

7.3 中國前道量檢測設備行業市場競爭格局分析

7.4 中國前道量檢測設備行業市場集中度分析

7.5 中國前道量檢測設備行業國際市場競爭力分析

7.6 中國前道量檢測設備行業國產替代布局狀況

第8章 2017-2022年上半年中國前道量檢測設備行業發展概述

8.1 中國前道量檢測設備行業上下游產業鏈分析

8.1.1 產業鏈模型原理介紹

8.1.2 前道量檢測設備行業產業鏈條分析

8.2 中國前道量檢測設備行業產業鏈環節分析

8.2.1 主要上游產業供給情況分析

8.2.2 2022-2028年主要上游產業供給預測分析

8.2.3 主要上游產業價格分析

8.2.4 2022-2028年主要上游產業價格預測分析

8.2.5 主要下游產業發展現狀分析

8.2.6 主要下游產業規模分析

8.2.7 主要下游產業價格分析

8.2.8 2022-2028年主要下游產業前景預測分析

8.3 中國前道量檢測設備細分市場格局分布

8.4 中國前道量檢測設備細分產品市場分析

8.7 中國前道量檢測設備行業中游細分市場前景分析

第9章 中國前道量檢測設備行業下游應用市場需求潛力分析

9.1 中國前道量檢測設備行業細分市場分析

9.1.1 A市場用前道量檢測設備

1、2017-2022年上半年行業發展概況

2、2017-2022年上半年需求規模

3、2022-2028年需求前景預測

9.1.2 B市場用前道量檢測設備

1、2017-2022年上半年行業發展概況

2、2017-2022年上半年需求規模

3、2022-2028年需求前景預測

9.1.3 C市場用前道量檢測設備

1、2017-2022年上半年行業發展概況

2、2017-2022年上半年需求規模

3、2022-2028年需求前景預測

9.1.4 D領域用前道量檢測設備

1、2017-2022年上半年行業發展概況

2、2017-2022年上半年需求規模

3、2022-2028年需求前景預測

9.2 行業下游領域需求格局占比

第10章 2017-2022年上半年中國前道量檢測設備行業區域市場現狀分析

10.1 中國前道量檢測設備行業區域市場規模分布

10.2 中國華東地前道量檢測設備市場分析

10.2.1 華東地區概述

10.2.2 華東地區前道量檢測設備市場供需情況及規模分析

10.2.3 2022-2028年華東地區前道量檢測設備市場前景預測

10.3 華中地區市場分析

10.3.1 華中地區概述

10.3.2 華中地區前道量檢測設備市場供需情況及規模分析

10.3.3 2022-2028年華中地區前道量檢測設備市場前景預測

10.4 華南地區市場分析

10.4.1 華南地區概述

10.4.2 華南地區前道量檢測設備市場供需情況及規模分析

10.4.3 2022-2028年華南地區前道量檢測設備市場前景預測

10.5 華北地區市場分析

10.5.1 華北地區概述

10.5.2 華北地區前道量檢測設備市場供需情況及規模分析

10.5.3 2022-2028年華北地區前道量檢測設備市場前景預測

10.6 東北地區市場分析

10.6.1 東北地區概述

10.6.2 東北地區前道量檢測設備市場供需情況及規模分析

10.6.3 2022-2028年東北地區前道量檢測設備市場前景預測

10.7 西北地區市場分析

10.7.1 西北地區概述

10.7.2 西北地區前道量檢測設備市場供需情況及規模分析

10.7.3 2022-2028年西北地區前道量檢測設備市場前景預測

10.8 西南地區市場分析

10.8.1 西南地區概述

10.8.2 西南地區前道量檢測設備市場供需情況及規模分析

10.8.3 2022-2028年西南地區前道量檢測設備市場前景預測

第11章 中國前道量檢測設備行業發展痛點及產業轉型升級

11.1 中國前道量檢測設備行業經營模式分析

11.2 中國前道量檢測設備行業經營效益分析

11.2.1 中國前道量檢測設備行業營收狀況

11.2.2 中國前道量檢測設備行業利潤水平

11.2.3 中國前道量檢測設備行業成本管控

11.3 中國前道量檢測設備行業市場痛點分析

11.4 中國前道量檢測設備產業結構優化與轉型升級發展路徑

第12章 前道量檢測設備重點企業布局案例研究

12.1 前道量檢測設備重點企業市場份額

12.2 前道量檢測設備重點企業布局案例分析

12.2.1 A公司

（1）企業概況

（2）企業生產經營基本情況

（3）企業前道量檢測設備業務布局狀況及產品銷售情況

（4）企業前道量檢測設備營業收入及增長情況

（5）企業核心競爭力分析

（6）企業發展戰略分析

12.2.2 B公司

（1）企業概況

（2）企業生產經營基本情況

（3）企業前道量檢測設備業務布局狀況及產品銷售情況

（4）企業前道量檢測設備營業收入及增長情況

（5）企業核心競爭力分析

（6）企業發展戰略分析

12.2.3 C公司

（1）企業概況

（2）企業生產經營基本情況

（3）企業前道量檢測設備業務布局狀況及產品銷售情況

（4）企業前道量檢測設備營業收入及增長情況

（5）企業核心競爭力分析

（6）企業發展戰略分析

12.2.4 D公司

（1）企業概況

（2）企業生產經營基本情況

（3）企業前道量檢測設備業務布局狀況及產品銷售情況

（4）企業前道量檢測設備營業收入及增長情況

（5）企業核心競爭力分析

（6）企業發展戰略分析

12.2.5 E公司

（1）企業概況

（2）企業生產經營基本情況

（3）企業前道量檢測設備業務布局狀況及產品銷售情況

（4）企業前道量檢測設備營業收入及增長情況

（5）企業核心競爭力分析

（6）企業發展戰略分析

第13章 中國前道量檢測設備行業發展潛力評估及趨勢前景預判

13.1 中國前道量檢測設備行業SWOT分析

13.2 2022-2028年中國前道量檢測設備行業發展潛力評估

13.3 2022-2028年中國前道量檢測設備行業市場前景預測

13.4 2022-2028年中國前道量檢測設備行業發展趨勢預判

第14章 中國前道量檢測設備行業投資價值及投資機會分析

14.1 中國前道量檢測設備行業市場進入壁壘構成分析

14.1.1 前道量檢測設備行業人才壁壘

14.1.2 前道量檢測設備行業技術壁壘

14.1.3 前道量檢測設備行業資金壁壘

14.1.4 前道量檢測設備行業其他壁壘

14.2 中國前道量檢測設備行業投資風險預警

14.2.1 前道量檢測設備行業政策風險分析

14.2.2 前道量檢測設備行業技術風險分析

14.2.3 前道量檢測設備行業宏觀經濟波動風險分析

14.2.4 前道量檢測設備行業其他風險分析

14.3 中國前道量檢測設備行業投資價值評估

第15章 中國前道量檢測設備行業研究結論及建議