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碳化硅材料零部件廣泛應用于外延生長、氧化/擴散/退火等設備

1、半導體設備行業概況

根據工藝流程，半導體設備主要分為制造設備和封測設備兩類。其中，制造設備主要用于硅片制造和芯片制造環節，包括長晶爐、外延爐、光刻機、刻蝕機、擴散/氧化/退火設備、離子注入機、薄膜沉積設備等；封測設備主要用于芯片封裝測試環節，包括劃片機、引線鍵合機、測試機、探針臺、分選機等。

根據 SEMI 國際半導體產業協會數據，晶圓廠建設推動半導體設備總銷售額連續兩年突破1000億美元大關，2022年全球半導體設備總銷售額約1085億美元，創下歷史新高，多個市場的新興應用為未來十年半導體行業的顯著增長設定了預期目標，這需要進一步加大投資以擴充產能。相比2021年總銷售額的1025億美元，增長了5.9%，連續三年取得創紀錄的收入。

2、半導體設備零部件行業概況

半導體行業遵循“一代技術、一代工藝、一代設備”的產業規律，半導體設備的升級迭代很大程度上有賴于其零部件的技術突破。核心精密零部件不僅是半導體設備制造環節中難度較大、技術含量較高的環節之一，也是我國半導體設備發展較薄弱的環節之一。半導體設備零部件處于半導體產業鏈上游位置，下游包括半導體設備廠商和晶圓廠商。半導體設備廠商在設備生產階段需要采購各種通用、定制化零部件，安裝、調試后對外銷售；而晶圓廠商采購的零部件通常為耗材、備件，用于生產線上持續使用的設備的定期更換。

半導體設備零部件種類繁多，不同零部件功能和技術難點差異較大，整體市場競爭格局較為分散，但主要細分市場內部集中度極高，主要被美日歐等海外廠商占據，各細分領域龍頭供應商大多是專長于單一或少數品類。

按照主要材料不同，半導體設備零部件可以分為硅/碳化硅件、石英件、陶瓷件、金屬件、石墨件、塑料件等。

按照使用周期不同，半導體設備零部件又可分為非耗材類和耗材類。非耗材類零部件使用周期較長，更換頻率較低。非耗材類零部件的典型代表為腔體框架、傳輸系統、真空泵、射頻電源等。耗材類零部件通常位于高溫、腐蝕性等惡劣環境中，在設備正常使用過程中會出現正常損耗，耗材類零部件需定期更換以保障性能和質量，使用周期較短。因此，耗材類零部件的需求既與設備廠設備生產量相關，也與晶圓廠設備裝機量、開機率相關性較大。

3、碳化硅零部件行業概述

碳化硅（SiC）作為重要的高端精密半導體材料，由于具有良好的耐高溫、耐腐蝕性、耐磨性、高溫力學性、抗氧化性等特性，在半導體、核能、國防及空間技術等高科技領域具有廣闊的應用前景。碳化硅零部件，即以碳化硅及其復合材料為主要材料的設備零部件，被廣泛應用于外延生長、等離子體刻蝕、快速熱處理、薄膜沉積、氧化/擴散、離子注入等主要半導體制造環節的設備中。

根據晶體結構不同，碳化硅主要分為六方或菱面體的α-SiC和立方體的β-SiC等。

資料來源：公開資料整理

根據制造工藝不同，碳化硅零部件可分為化學氣相沉積碳化硅（CVD SiC）、反應燒結碳化硅、重結晶燒結碳化硅、常壓燒結碳化硅、熱壓燒結碳化硅、熱等靜壓燒結碳化硅等。

資料來源：公開資料整理

各類工藝制備的碳化硅與其他材料參數差異如下表所示：

資料來源：公開資料整理

可以看出相比其他材料部件，碳化硅材料零部件具備密度高、熱傳導率高、彎曲強度大、彈性模數大等特性，能夠適應晶圓外延、刻蝕等制造環節的強腐蝕性、超高溫的惡劣反應環境，因此廣泛應用于外延生長設備、刻蝕設備、氧化/擴散/退火設備等主要半導體設備。

更多行業資料請參考普華有策咨詢《2023-2029年碳化硅材料零部件行業市場調研及發展趨勢預測報告》，同時普華有策咨詢還提供產業研究報告、產業鏈咨詢、項目可行性報告、項目后評價報告、十四五規劃、BP商業計劃書、產業圖譜、產業規劃、藍白皮書、IPO募投可研、IPO工作底稿咨詢等服務。

目錄

第一章 碳化硅材料零部件行業相關概述

第一節 碳化硅材料零部件行業定義及分類

一、行業定義

二、行業特性及在國民經濟中的地位及影響

第二節 碳化硅材料零部件行業特點及模式

一、碳化硅材料零部件行業發展特征

二、碳化硅材料零部件行業經營模式

第三節 碳化硅材料零部件行業產業鏈分析

一、產業鏈結構

二、碳化硅材料零部件行業主要上游2017-2022年供給規模分析

三、碳化硅材料零部件行業主要上游2017-2022年價格分析

四、碳化硅材料零部件行業主要上游2023-2029年發展趨勢分析

五、碳化硅材料零部件行業主要下游2017-2022年發展概況分析

六、碳化硅材料零部件行業主要下游2023-2029年發展趨勢分析

第二章 碳化硅材料零部件行業全球發展分析

第一節 全球碳化硅材料零部件市場總體情況分析

一、全球碳化硅材料零部件行業的發展特點

二、全球碳化硅材料零部件市場結構

三、全球碳化硅材料零部件行業市場規模分析

四、全球碳化硅材料零部件行業競爭格局

五、全球碳化硅材料零部件市場區域分布

第二節 全球主要國家（地區）市場分析

一、歐洲

1、歐洲碳化硅材料零部件行業市場規模

2、歐洲碳化硅材料零部件市場結構

3、2023-2029年歐洲碳化硅材料零部件行業發展前景預測

二、北美

1、北美碳化硅材料零部件行業市場規模

2、北美碳化硅材料零部件市場結構

3、2023-2029年北美碳化硅材料零部件行業發展前景預測

三、日韓

1、日韓碳化硅材料零部件行業市場規模

2、日韓碳化硅材料零部件市場結構

3、2023-2029年日韓碳化硅材料零部件行業發展前景預測

四、其他

第三章 《國民經濟行業分類與代碼》中碳化硅材料零部件所屬行業2023-2029年規劃概述

第一節 2017-2022年所屬行業發展回顧

一、2017-2022年所屬行業運行情況

二、2017-2022年所屬行業發展特點

三、2017-2022年所屬行業發展成就

第二節 碳化硅材料零部件行業所屬行業2023-2029年規劃解讀

一、2023-2029年規劃的總體戰略布局

二、2023-2029年規劃對經濟發展的影響

三、2023-2029年規劃的主要目標

第四章 2023-2029年行業發展環境分析

第一節 2023-2029年世界經濟發展趨勢

第二節 2023-2029年我國經濟面臨的形勢

第三節 2023-2029年我國對外經濟貿易預測

第四節2023-2029年行業技術環境分析

一、行業相關技術

二、行業專利情況

1、中國碳化硅材料零部件專利申請

2、中國碳化硅材料零部件專利公開

3、中國碳化硅材料零部件熱門申請人

4、中國碳化硅材料零部件熱門技術

第五節2023-2029年行業社會環境分析

第五章 普華有策對碳化硅材料零部件行業總體發展狀況

第一節 碳化硅材料零部件行業特性分析

第二節 碳化硅材料零部件產業特征與行業重要性

第三節 2017-2022年碳化硅材料零部件行業發展分析

一、2017-2022年碳化硅材料零部件行業發展態勢分析

二、2017-2022年碳化硅材料零部件行業發展特點分析

三、2023-2029年區域產業布局與產業轉移

第四節 2017-2022年碳化硅材料零部件行業規模情況分析

一、行業單位規模情況分析

二、行業人員規模狀況分析

三、行業資產規模狀況分析

四、行業市場規模狀況分析

第五節 2017-2022年碳化硅材料零部件行業財務能力分析與2023-2029年預測

一、行業盈利能力分析與預測

二、行業償債能力分析與預測

三、行業營運能力分析與預測

四、行業發展能力分析與預測

第六章 POLICY對2023-2029年我國碳化硅材料零部件市場供需形勢分析

第一節 我國碳化硅材料零部件市場供需分析

一、2017-2022年我國碳化硅材料零部件行業供給情況

二、2017-2022年我國碳化硅材料零部件行業需求情況

1、碳化硅材料零部件行業需求市場

2、碳化硅材料零部件行業客戶結構

3、碳化硅材料零部件行業區域需求結構

三、2017-2022年我國碳化硅材料零部件行業供需平衡分析

第二節 碳化硅材料零部件產品市場應用及需求預測

一、碳化硅材料零部件產品應用市場總體需求分析

1、碳化硅材料零部件產品應用市場需求特征

2、碳化硅材料零部件產品應用市場需求總規模

二、2023-2029年碳化硅材料零部件行業領域需求量預測

1、2023-2029年碳化硅材料零部件行業領域需求產品功能預測

2、2023-2029年碳化硅材料零部件行業領域需求產品市場格局預測

第七章 我國碳化硅材料零部件行業運行分析

第一節 我國碳化硅材料零部件行業發展狀況分析

一、我國碳化硅材料零部件行業發展階段

二、我國碳化硅材料零部件行業發展總體概況

第二節 2017-2022年碳化硅材料零部件行業發展現狀

一、2017-2022年我國碳化硅材料零部件行業市場規模

二、2017-2022年我國碳化硅材料零部件行業發展分析

三、2017-2022年中國碳化硅材料零部件企業發展分析

第三節 2017-2022年碳化硅材料零部件市場情況分析

一、2017-2022年中國碳化硅材料零部件市場總體概況

二、2017-2022年中國碳化硅材料零部件市場發展分析

第四節 我國碳化硅材料零部件市場價格走勢分析

一、碳化硅材料零部件市場定價機制組成

二、碳化硅材料零部件市場價格影響因素

三、2017-2022年碳化硅材料零部件價格走勢分析

四、2023-2029年碳化硅材料零部件價格走勢預測

第八章 POLICY對中國碳化硅材料零部件市場規模分析

第一節 2017-2022年中國碳化硅材料零部件市場規模分析

第二節 2017-2022年我國碳化硅材料零部件區域結構分析

第三節 2017-2022年中國碳化硅材料零部件區域市場規模

一、2017-2022年東北地區市場規模分析

二、2017-2022年華北地區市場規模分析

三、2017-2022年華東地區市場規模分析

四、2017-2022年華中地區市場規模分析

五、2017-2022年華南地區市場規模分析

六、2017-2022年西部地區市場規模分析

第四節 2023-2029年中國碳化硅材料零部件區域市場前景預測

一、2023-2029年東北地區市場前景預測

二、2023-2029年華北地區市場前景預測

三、2023-2029年華東地區市場前景預測

四、2023-2029年華中地區市場前景預測

五、2023-2029年華南地區市場前景預測

六、2023-2029年西部地區市場前景預測

第九章 普●華●有●策對2023-2029年碳化硅材料零部件行業產業結構調整分析

第一節 碳化硅材料零部件產業結構分析

一、市場細分充分程度分析

二、下游應用領域需求結構占比

三、領先應用領域的結構分析（所有制結構）

第二節 產業價值鏈條的結構分析及產業鏈條的整體競爭優勢分析

一、產業價值鏈條的構成

二、產業鏈條的競爭優勢與劣勢分析

第十章 碳化硅材料零部件行業競爭力優勢分析

第一節 碳化硅材料零部件行業競爭力優勢分析

一、行業整體競爭力評價

二、行業競爭力評價結果分析

三、競爭優勢評價及構建建議

第二節 中國碳化硅材料零部件行業競爭力剖析

第三節 碳化硅材料零部件行業SWOT分析

一、碳化硅材料零部件行業優勢分析

二、碳化硅材料零部件行業劣勢分析

三、碳化硅材料零部件行業機會分析

四、碳化硅材料零部件行業威脅分析

第十一章 2023-2029年碳化硅材料零部件行業市場競爭策略分析

第一節 行業總體市場競爭狀況分析

一、碳化硅材料零部件行業競爭結構分析

1、現有企業間競爭

2、潛在進入者分析

3、替代品威脅分析

4、供應商議價能力

5、客戶議價能力

6、競爭結構特點總結

二、碳化硅材料零部件行業企業間競爭格局分析

1、不同規模企業競爭格局

2、不同所有制企業競爭格局

3、不同區域企業競爭格局

三、碳化硅材料零部件行業集中度分析

1、市場集中度分析

2、企業集中度分析

3、區域集中度分析

第二節 中國碳化硅材料零部件行業競爭格局綜述

一、碳化硅材料零部件行業競爭概況

二、重點企業市場份額占比分析

三、碳化硅材料零部件行業主要企業競爭力分析

1、重點企業資產總計對比分析

2、重點企業從業人員對比分析

3、重點企業營業收入對比分析

4、重點企業利潤總額對比分析

5、重點企業負債總額對比分析

第三節 2017-2022年碳化硅材料零部件行業競爭格局分析

一、國內主要碳化硅材料零部件企業動向

二、國內碳化硅材料零部件企業擬在建項目分析

三、我國碳化硅材料零部件市場集中度分析

第四節 碳化硅材料零部件企業競爭策略分析

一、提高碳化硅材料零部件企業競爭力的策略

二、影響碳化硅材料零部件企業核心競爭力的因素及提升途徑

第十二章 普華有策對行業重點企業發展形勢分析

第一節 企業五

一、企業概況及碳化硅材料零部件產品介紹

二、企業核心競爭力分析

三、企業主要利潤指標分析

四、2017-2022年主要經營數據指標

五、企業發展戰略規劃

第二節 企業二

一、企業概況及碳化硅材料零部件產品介紹

二、企業核心競爭力分析

三、企業主要利潤指標分析

四、2017-2022年主要經營數據指標

五、企業發展戰略規劃

第三節 企業三

一、企業概況及碳化硅材料零部件產品介紹

二、企業核心競爭力分析

三、企業主要利潤指標分析

四、2017-2022年主要經營數據指標

五、企業發展戰略規劃

第四節 企業四

一、企業概況及碳化硅材料零部件產品介紹

二、企業核心競爭力分析

三、企業主要利潤指標分析

四、2017-2022年主要經營數據指標

五、企業發展戰略規劃

第五節 企業五

一、企業概況及碳化硅材料零部件產品介紹

二、企業核心競爭力分析

三、企業主要利潤指標分析

四、2017-2022年主要經營數據指標

五、企業發展戰略規劃

第十三章 普●華●有●策對2023-2029年碳化硅材料零部件行業投資前景展望

第一節 碳化硅材料零部件行業2023-2029年投資機會分析

一、碳化硅材料零部件行業典型項目分析

二、可以投資的碳化硅材料零部件模式

三、2023-2029年碳化硅材料零部件投資機會

第二節 2023-2029年碳化硅材料零部件行業發展預測分析

一、產業集中度趨勢分析

二、2023-2029年行業發展趨勢

三、2023-2029年碳化硅材料零部件行業技術開發方向

四、總體行業2023-2029年整體規劃及預測

第三節 2023-2029年規劃將為碳化硅材料零部件行業找到新的增長點

第十四章 普●華●有●策對 2023-2029年碳化硅材料零部件行業發展趨勢及投資風險分析

第一節 2017-2022年碳化硅材料零部件存在的問題

第二節 2023-2029年發展預測分析

一、2023-2029年碳化硅材料零部件發展方向分析

二、2023-2029年碳化硅材料零部件行業發展規模預測

三、2023-2029年碳化硅材料零部件行業發展趨勢預測

四、2023-2029年碳化硅材料零部件行業發展重點

第三節 2023-2029年行業進入壁壘分析

一、技術壁壘分析

二、資金壁壘分析

三、政策壁壘分析

四、其他壁壘分析

第四節 2023-2029年碳化硅材料零部件行業投資風險分析

一、競爭風險分析

二、原材料風險分析

三、人才風險分析

四、技術風險分析

五、其他風險分析