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國產替代推動半導體設備零部件行業國產化進程加快

目前，半導體設備用碳化硅零部件領域整體呈現高度壟斷的市場競爭格局，市場上碳素巨頭技術領先、產品線豐富，以東海碳素、崇德昱博、西格里碳素、東洋炭素等為代表的傳統國外供應商占據了全球及中國市場的主要份額。目前，我國半導體設備用碳化硅零部件國產化率較低，本土廠商起步較晚，且整體處于追趕國外狀態，仍有較大發展空間。目前，在中國 CVD 碳化硅零部件市場中，崇德昱博、東海碳素、西格里碳素等國外企業仍占據主要市場份額，國產 CVD 碳化硅產品市場份額占比不高。

1、半導體設備零部件行業技術水平與特點

半導體制造設備在產業鏈中發揮著舉足輕重的作用，作為上游環節的技術先導者，其技術水平是影響下游最終產品性能的決定性因素，而半導體制造設備大部分關鍵核心技術通常需要以核心精密零部件作為載體來實現。制造設備的技術革新一般會推動半導體制造工藝的更迭，進而推動各細分市場產品的更新換代，因此半導體產業鏈下游客戶對設備及其零部件供應商的篩選標準十分嚴格。

半導體設備零部件具有高純度、高精密、高潔凈、超強耐腐蝕能力等特性，生產工藝涉及精密制造、工程材料、表面處理、特種工藝等多個領域和學科。因此，半導體核心精密零部件是半導體設備制造環節中技術壁壘較高的環節，是半導體設備的基礎和核心，也是整個電子信息產業的支撐。

發達國家半導體行業充分發展，行業內企業憑借先發優勢，積累了豐富的制造經驗，掌握了領先的制備工藝。目前國外企業生產的半導體設備用碳化硅零部件在產品性能、產品豐富度方面相對更有優勢。我國半導體設備的研發與制造起步較晚，相關配套零部件的制造能力、工藝水平與相關發達國家企業仍存在一定差距。

隨著全球半導體行業向中國轉移、我國半導體產業投入增加、政策支持力度加大、產業鏈逐漸完善，國產半導體設備零部件行業獲得極大的發展機會。半導體制造設備具有高精密性、高專用性的特點，各廠商設備內部結構各異，對零部件的定向研發及定制生產有較高要求，我國相關企業在定制服務、及時響應等方面更具優勢，半導體設備零部件行業在我國發展潛力巨大。

2、阻礙半導體設備零部件行業發展的主要挑戰

（1）新產品新技術開發風險

全球半導體設備零部件及材料行業呈現寡頭壟斷的局面，境外主要企業擁有長期行業經驗和深度的技術積累，產品材料選擇及制備、產品工藝配方、制造設備等均為企業核心機密。半導體設備零部件精密程度及專用程度高，下游客戶驗證時間長、通過驗證難度大。我國半導體設備零部件制造行業起步較晚，發展較不充分，國內企業一般通過自主研發的方式開發新產品新技術，在此過程中研發風險及不確定性大。

（2）半導體設備產業更新迭代風險

半導體產業遵循“一代技術、一代工藝、一代設備”的規律，按照摩爾定律，目前全球集成電路制造工藝已發展至 5 納米及更先進制程，半導體設備和半導體設備核心零部件必須不斷研發升級、工藝改進，以滿足下游制造需求。一旦半導體設備更新換代，新設備對零部件的具體需求將同步發生變化，進而對半導體設備零部件企業提出新的要求。

（3）半導體行業需求波動風險

半導體設備零部件行業受半導體設備廠商、外延片廠商、晶圓廠商及終端消費市場的需求波動影響較大。若消費電子、網絡通信、汽車電子等終端消費市場需求下降，則會致使半導體設備廠商、外延片廠商、晶圓廠商產能利用率下降，縮減資本開支，最終造成本行業的需求產生波動。

3、半導體設備零部件行業發展的主要機遇

（1）國產替代推動國產化進程加快

下游客戶對產品穩定性要求極高，碳化硅零部件作為半導體制造設備的核心零部件，其可靠性直接影響晶圓外延生長、芯片制造的一致性和良率。由于較高的技術壁壘，該行業長期被國外大型材料和零部件企業壟斷。海外大型材料及零部件企業雖技術實力強、發展時間長、產品矩陣豐富，但碳化硅零部件產品僅為其產品類型之一，相關產品供貨周期長，定制化水平低，一定程度上制約了我國設備廠商、外延片廠商、晶圓廠商降成本、擴規模的進程。

同時，受國際環境及貿易政策變化影響，為提高我國半導體設備及零部件行業自主可控能力，國產設備和零部件日益受到國內晶圓廠商、外延片廠商青睞。隨著本土制造商加快技術研發及產業化速度，未來半導體設備碳化硅零部件的國產化進程預計將進一步加快。

（2）半導體設備零部件下游產業發展壯大的推動因素

伴隨信息化、網絡化和知識經濟的迅速發展，特別是在以 5G、物聯網、人工智能、汽車電子、智能手機、智能穿戴、云計算、大數據和安防電子等為代表的新興應用領域的強勁需求拉動下，全球半導體市場規模持續提升，行業發展前景廣闊。隨著半導體產能的逐步釋放并伴隨著經濟增長、政策扶持的雙重支撐，中國大陸正在加速承接全球第三次半導體產業轉移，成為驅動全球半導體行業發展的新動力。下游應用市場的蓬勃發展驅動晶圓廠擴產，晶圓廠增加資本開支，因此衍生了巨大的設備及零部件需求。

以 SiC 行業為例，近年來隨著新能源汽車、光伏逆變器等行業蓬勃發展，SiC開始替代 Si 成為功率器件更具性能優勢的材料，國內外 SiC 產業鏈企業紛紛擴產，SiC 外延設備需求持續上升，產線上存量 SiC 外延設備的利用率居高不下，因此相關設備零部件需求量較大。

以 LED 行業為例，Mini/Micro LED 正成為顯示技術的發展方向，當前 Mini LED 技術正逐步成熟，在中高端液晶顯示屏背光、LED 顯示屏得到大規模應用。因此，將帶動 MOCVD 設備及零部件行業發展，提高行業內企業的持續盈利能力。

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目錄

第1章 半導體設備零部件行業綜述及數據來源說明

1.1 半導體設備零部件行業界定

1.1.1 半導體設備零部件的定義

1.1.2 《國民經濟行業分類與代碼》中半導體設備零部件行業歸屬

1.2 半導體設備零部件行業相關專業術語

1.3 本報告數據來源及編制說明

第2章 中國半導體設備零部件行業宏觀環境分析（PEST）

2.1 中國半導體設備零部件行業政策（Policy）環境分析

2.1.1 中國半導體設備零部件行業監管體系及機構介紹

1、中國半導體設備零部件行業主管部門

2、中國半導體設備零部件行業自律組織

2.1.2 中國半導體設備零部件行業發展相關政策規劃匯總及解讀

2.1.3 政策環境對中國半導體設備零部件行業發展的影響總結

2.2 中國半導體設備零部件行業經濟（Economy）環境分析

2.2.1 中國宏觀經濟發展現狀

2.2.2 中國宏觀經濟發展展望

2.3 中國半導體設備零部件行業社會（Society）環境分析

2.4 中國半導體設備零部件行業技術（Technology）環境分析

2.4.1 中國半導體設備零部件行業相關技術介紹

2.4.2 中國半導體設備零部件行業專利情況

1、中國半導體設備零部件專利申請

2、中國半導體設備零部件專利公開

3、中國半導體設備零部件熱門申請人

4、中國半導體設備零部件熱門技術

第3章 全球半導體設備零部件行業發展現狀及半導體設備零部件市場前景

3.1 全球半導體設備零部件行業發展歷程介紹

3.2 全球半導體設備零部件行業宏觀環境背景

3.2.1 全球半導體設備零部件行業經濟環境概況

3.2.2 全球半導體設備零部件行業經濟預測

3.3 全球半導體設備零部件行業發展現狀及市場規模體量分析

3.4 全球半導體設備零部件行業區域發展格局及重點區域市場研究

3.4.1 全球半導體設備零部件行業區域發展格局

3.4.2 全球半導體設備零部件行業重點區域市場發展狀況

1、 亞洲半導體設備零部件行業地區市場分析

（1）亞洲半導體設備零部件行業市場現狀分析

（2）亞洲半導體設備零部件行業市場規模與市場需求分析

（3）2023-2029亞洲半導體設備零部件行業前景預測分析

2、 北美半導體設備零部件行業地區市場分析

（1）北美半導體設備零部件行業市場現狀分析

（2）北美半導體設備零部件行業市場規模與市場需求分析

（3）2023-2029北美半導體設備零部件行業前景預測分析

3、 歐洲半導體設備零部件行業地區市場分析

（1）歐洲半導體設備零部件行業市場現狀分析

（2）歐洲半導體設備零部件行業市場規模與市場需求分析

（3）2023-2029歐洲半導體設備零部件行業前景預測分析

4、 其他地區分析

5、 2023-2029全球半導體設備零部件行業規模預測

3.5 全球半導體設備零部件行業市場競爭格局及重點企業案例研究

3.5.1 全球半導體設備零部件行業市場競爭格局

3.5.2全球半導體設備零部件行業重點企業案例

1、企業A

2、企業B

3、企業C

第4章 中國半導體設備零部件行業進出口貿易狀況及對外貿易依存度

4.1 全球及中國半導體設備零部件行業發展差異分析

4.2 中國半導體設備零部件行業進出口貿易整體狀況

4.3 中國半導體設備零部件行業進口貿易狀況

4.3.1 中國半導體設備零部件行業進口規模

4.3.2 中國半導體設備零部件行業進口價格水平

4.3.3 中國半導體設備零部件行業進口產品結構

4.3.4 中國半導體設備零部件行業進口來源地

4.4 中國半導體設備零部件行業出口貿易狀況

4.4.1 中國半導體設備零部件行業出口規模

4.4.2 中國半導體設備零部件行業出口價格水平

4.4.3 中國半導體設備零部件行業出口產品結構

4.4.4 中國半導體設備零部件行業出口目的地

第5章 中國半導體設備零部件行業市場供給狀況及市場行情走勢預判

5.1 中國半導體設備零部件行業發展歷程介紹

5.2 中國半導體設備零部件行業市場特性解析

5.3 中國半導體設備零部件行業市場主體類型及入場方式

5.4 中國半導體設備零部件行業市場主體數量規模

5.5 中國半導體設備零部件行業市場供給能力分析

5.6 中國半導體設備零部件行業市場供給水平分析

5.7 中國半導體設備零部件行業市場行情走勢預判

第6章 2017-2022年中國半導體設備零部件行業市場需求狀況及市場規模體量分析

6.1 中國半導體設備零部件行業市場滲透狀況分析

6.2 中國半導體設備零部件行業市場飽和度分析

6.3 中國半導體設備零部件行業市場需求狀況

6.4 中國半導體設備零部件行業市場銷售狀況

6.5 中國半導體設備零部件行業市場規模體量分析

第7章 中國半導體設備零部件行業市場競爭狀況及國際市場競爭力分析

7.1 中國半導體設備零部件行業波特五力模型分析

7.1.1 中國半導體設備零部件行業現有競爭者之間的競爭分析

7.1.2 中國半導體設備零部件行業關鍵要素的供應商議價能力分析

7.1.3 中國半導體設備零部件行業消費者議價能力分析

7.1.4 中國半導體設備零部件行業潛在進入者分析

7.1.5 中國半導體設備零部件行業替代品風險分析

7.2 中國半導體設備零部件行業投融資、兼并與重組案例

7.3 中國半導體設備零部件行業市場競爭格局分析

7.4 中國半導體設備零部件行業市場集中度分析

7.5 中國半導體設備零部件行業國際市場競爭力分析

7.6 中國半導體設備零部件行業國產替代布局狀況

第8章 2017-2022年中國半導體設備零部件行業發展概述

8.1 中國半導體設備零部件行業上下游產業鏈分析

8.1.1 產業鏈模型原理介紹

8.1.2 半導體設備零部件行業產業鏈條分析

8.2 中國半導體設備零部件行業產業鏈環節分析

8.2.1 主要上游產業供給情況分析

8.2.2 2023-2029主要上游產業供給預測分析

8.2.3 主要上游產業價格分析

8.2.4 2023-2029主要上游產業價格預測分析

8.2.5 主要下游產業發展現狀分析

8.2.6 主要下游產業規模分析

8.2.7 主要下游產業價格分析

8.2.8 2023-2029主要下游產業前景預測分析

8.3 中國半導體設備零部件細分市場格局分布

8.4 中國半導體設備零部件細分產品市場分析

8.5 中國半導體設備零部件行業中游細分市場前景分析

第9章 中國半導體設備零部件行業下游應用市場需求潛力分析

9.1 中國半導體設備零部件行業細分市場分析

9.1.1 A市場用半導體設備零部件

1、2017-2022年行業發展概況

2、2017-2022年需求規模

3、2023-2029需求前景預測

9.1.2 B市場用半導體設備零部件

1、2017-2022年行業發展概況

2、2017-2022年需求規模

3、2023-2029需求前景預測

9.1.3 C市場用半導體設備零部件

1、2017-2022年行業發展概況

2、2017-2022年需求規模

3、2023-2029需求前景預測

9.1.4 D領域用半導體設備零部件

1、2017-2022年行業發展概況

2、2017-2022年需求規模

3、2023-2029需求前景預測

9.2 行業下游領域需求格局占比

第10章 2017-2022年中國半導體設備零部件行業區域市場現狀分析

10.1 中國半導體設備零部件行業區域市場規模分布

10.2 中國華東地半導體設備零部件市場分析

10.2.1 華東地區概述

10.2.2 華東地區半導體設備零部件市場需求情況分析

10.2.3 2023-2029華東地區半導體設備零部件市場前景預測

10.3 華中地區市場分析

10.3.1 華中地區概述

10.3.2 華中地區半導體設備零部件市場需求情況分析

10.3.3 2023-2029華中地區半導體設備零部件市場前景預測

10.4 華南地區市場分析

10.4.1 華南地區概述

10.4.2 華南地區半導體設備零部件市場需求情況分析

10.4.3 2023-2029華南地區半導體設備零部件市場前景預測

10.5 華北地區市場分析

10.5.1 華北地區概述

10.5.2 華北地區半導體設備零部件市場需求情況分析

10.5.3 2023-2029華北地區半導體設備零部件市場前景預測

10.6 東北地區市場分析

10.6.1 東北地區概述

10.6.2 東北地區半導體設備零部件市場需求情況分析

10.6.3 2023-2029東北地區半導體設備零部件市場前景預測

10.7 西北地區市場分析

10.7.1 西北地區概述

10.7.2 西北地區半導體設備零部件市場需求情況分析

10.7.3 2023-2029西北地區半導體設備零部件市場前景預測

10.8 西南地區市場分析

10.8.1 西南地區概述

10.8.2 西南地區半導體設備零部件市場需求情況分析

10.8.3 2023-2029西南地區半導體設備零部件市場前景預測

第11章 中國半導體設備零部件行業發展痛點及產業轉型升級

11.1 中國半導體設備零部件行業經營模式分析

11.2 中國半導體設備零部件行業經營效益分析

11.2.1 中國半導體設備零部件行業營收狀況

11.2.2 中國半導體設備零部件行業利潤水平

11.2.3 中國半導體設備零部件行業成本管控

11.3 中國半導體設備零部件行業市場痛點分析

11.4 中國半導體設備零部件產業結構優化與轉型升級發展路徑

第12章 半導體設備零部件重點企業布局案例研究

12.1 半導體設備零部件重點企業市場份額

12.2 半導體設備零部件重點企業布局案例分析

12.2.1 A公司

1、企業概況

2、企業生產經營基本情況

3、企業半導體設備零部件業務布局狀況及營收結構

4、企業半導體設備零部件營業收入及增長情況

5、企業核心競爭力分析

6、企業發展戰略分析

12.2.2 B公司

1、企業概況

2、企業生產經營基本情況

3、企業半導體設備零部件業務布局狀況及營收結構

4、企業半導體設備零部件營業收入及增長情況

5、企業核心競爭力分析

6、企業發展戰略分析

12.2.3 C公司

1、企業概況

2、企業生產經營基本情況

3、企業半導體設備零部件業務布局狀況及營收結構

4、企業半導體設備零部件營業收入及增長情況

5、企業核心競爭力分析

6、企業發展戰略分析

12.2.4 D公司

1、企業概況

2、企業生產經營基本情況

3、企業半導體設備零部件業務布局狀況及營收結構

4、企業半導體設備零部件營業收入及增長情況

5、企業核心競爭力分析

6、企業發展戰略分析

12.2.5 E公司

1、企業概況

2、企業生產經營基本情況

3、企業半導體設備零部件業務布局狀況及營收結構

4、企業半導體設備零部件營業收入及增長情況

5、企業核心競爭力分析

6、企業發展戰略分析

第13章 中國半導體設備零部件行業發展潛力評估及趨勢前景預判

13.1 中國半導體設備零部件行業SWOT分析

13.2 2023-2029中國半導體設備零部件行業發展潛力評估

13.3 2023-2029中國半導體設備零部件行業市場前景預測

13.4 2023-2029中國半導體設備零部件行業發展趨勢預判

第14章 中國半導體設備零部件行業投資價值及投資機會分析

14.1 中國半導體設備零部件行業市場進入壁壘構成分析

14.1.1 半導體設備零部件行業人才壁壘

14.1.2 半導體設備零部件行業技術壁壘

14.1.3 半導體設備零部件行業資金壁壘

14.1.4 半導體設備零部件行業其他壁壘

14.2 中國半導體設備零部件行業投資風險預警

14.2.1 半導體設備零部件行業政策風險分析

14.2.2 半導體設備零部件行業技術風險分析

14.2.3 半導體設備零部件行業宏觀經濟波動風險分析

14.2.4 半導體設備零部件行業其他風險分析

14.3 中國半導體設備零部件行業投資價值評估

第15章 中國半導體設備零部件行業研究結論及建議