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前道量檢測設備市場規模較大且保持著穩定增長

1、前道量檢測設備行業概述

（1）前道量檢測設備是芯片制造產線中不可或缺的核心設備

前道量檢測設備以光、電子束等介質作為主要工具，針對光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設備等工藝設備的加工成果，進行關鍵指標的量測或潛在缺陷的檢測，其使用場景覆蓋擴散、薄膜沉積、光刻、刻蝕、離子注入、 CMP、清洗等芯片前道生產的幾乎全部工序，具體情況如下：

資料來源：普華有策公開資料整理

區別于光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設備等工藝設備，前道量檢測設備屬于“過程控制設備”，本身并不參與制造，但發揮著“指引”制造活動的作用：

一方面，良率系芯片制造的“生命線”，芯片產線須依賴前道量檢測設備檢測出產品的各類缺陷，并依此發現各工藝階段的潛在問題，及時對工藝路線、設備搭配、產線參數等進行調整，進而提升芯片產線整體的產品良率。隨著下游芯片需求的不斷發展，芯片制造的工藝步驟亦在不斷增多，工藝步驟的增多亦會導致產線的整體良率更加難以把控，從而導致產線對前道量檢測設備的依賴不斷提高。

另一方面，在進行制造工藝改進或工藝節點提升時，芯片產線亦須通過前道量檢測設備獲取精確的數據支持，以評判工藝方案的優劣，或指導相應的研發探索。例如，在多重曝光技術中，正是依靠了“套刻精度量測設備”對光刻工序后兩層相鄰光刻膠的“偏移量”的測定，才能驗證多張掩膜版的相對位置是否精確，從而驗證相關工藝是否可行，進而決定該技術的商業化價值。若無法得知精確數據，則多重曝光技術將無法順利產業化。

因此，前道量檢測設備是芯片制造產線中不可或缺的核心設備，前道量檢測設備的技術水平，直接影響著芯片品質，并制約著芯片工藝的技術提升。

（2）前道量檢測設備涉及多學科領域，結構精密復雜、制造難度大

從結構上看，前道量檢測設備主要由傳輸單元、光路處理單元、信號單元、量檢測單元等系統組成，包含成千上萬個具體模塊，每個具體模塊的突破均需要企業長期的技術積淀。

從功能上看，前道量檢測設備作為半導體行業的高精密儀器，需完成納米級別的測量、檢測工作，是半導體前道生產的“眼睛”和“醫生”。前道量檢測設備的功能屬性決定了其必須具備“高精密度”的特質。

從技術上看，前道量檢測設備涉及高真空腔傳輸技術、光譜檢測技術、快速運算技術、高精度信號檢測技術等多項技術的攻關，是光學、物理學、機械學、算法等多領域學科的技術結晶，技術壁壘較高，制造難度較大。

（3）前道量檢測設備種類繁多，在自研突破的同時亦須兼顧產線的安全穩定生產

前道量檢測設備是應用于前道過程控制的一系列設備的統稱，不同于光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設備等工藝設備，前道量檢測設備的種類繁多，包括十余種大類和上百種型號，分別用于薄膜厚度、關鍵尺寸、套刻精度、刻蝕深度、表面形貌等關鍵指標的測量，以及顆粒沾污、圖案缺陷、微觀缺陷、機械劃傷等一系列潛在缺陷的檢測。

不同品類的前道量檢測設備功能不同，其技術原理亦各有特點，每個細分領域均需較為深厚的技術積累和持續研發攻關，需投入較大精力開展自研。而對于產線而言，由于各道連續工序存在“木桶效應”，任何一個細分領域的量檢測設備的欠缺，均會導致產線整體生產成果無法有效控制，進而對產線良率造成不利影響。

在上述背景下，一方面，需要國內企業不斷在各個細分領域持續攻關，提高各類前道量檢測設備能力；另一方面，也需要重視修復設備市場，通過修復設備市場的發展，持續為產線提供多品類的修復設備供應，維持產線的穩定運轉，進而確保芯片制造的安全生產。

2、前道量檢測設備行業規模情況

（1）前道量檢測設備市場規模較大且保持著穩定增長

前道量檢測設備作為半導體設備市場的重要組成，其市場規模在半導體設備中僅次于薄膜沉積設備、光刻機、刻蝕設備。

近年來，全球前道量檢測設備市場呈現穩步增長。2019年至 2023年，全球前道量檢測設備市場規模由51.87 億美元增長至125.3億美元。

（2）少數國際龍頭企業主導全球前道量檢測設備供應市場

前道量檢測修復設備的市場格局， 主要呈現國際原廠修復部門占據大部分市場份額，卓?？萍嫉鹊谌叫迯蛷S商展開與原廠修復部門的競爭，逐步提升自身市占率的情況。

與光刻機市場相似，前道量檢測設備的技術壁壘高、制造難度大， 需要企業長時間的投入及技術積淀，供應市場呈現高度集中的格局。目前，全球前道量檢測設備供應市場由 KLA、 AMAT、Hitachi 等少數國際龍頭企業主導， 其總市場占有率超過七成。

為匹配摩爾定律下晶圓制造工藝的升級步伐，及時滿足全球領先的晶圓制造企業對新一代設備的需求，并保持引領市場的競爭力，在有限的資金、產能、人力下，國際龍頭企業一般會將更多精力投入研發生產先進制程設備。而對于成熟制程設備市場，國際龍頭企業一般通過提供修復設備的方式，實現全方位的占據。

目前，國內先進制程的前道量檢測設備市場，主要被 KLA、 AMAT 等國際龍頭企業的新設備部門所占據，而成熟制程市場，主要被上述國際龍頭企業的修復部門所占據。

（3）我國前道量檢測設備行業處于發展初期

前道量檢測設備結構精密復雜、制造難度大，而我國芯片產業起步又相對較晚，導致前道量檢測設備的產業發展一直呈現較低水平。前道量檢測設備行業仍屬于我國的產業優勢相對較弱的領域，盡管國家多年來持續鼓勵半導體設備研發、國內自研企業均在不斷鉆研突破，但受限于行業起步較晚等因素，短期內預計仍無法滿足芯片穩定生產的需求缺口，而作為“工業糧食”的芯片一旦欠缺，會直接影響諸多下游新興領域的發展。因此，為保障產線的芯片產量和生產安全，在鼓勵新設備自研的同時，應兼顧修復設備市場，進而保障芯片產線運行。

3、中外前道量檢測設備行業能力行業比較

全球前道量檢測設備市場中，以 KLA、 AMAT、 Hitachi 為代表的國際龍頭企業進入市場時間較早、經營規模較大、產品布局豐富，具備較強的技術實力和自主研發能力。

我國在半導體前道量檢測設備領域起步較晚，國內企業還處于初步發展階段，雖然在部分細分領域實現了突破，但產品的成熟度還遠遠未能滿足下游的迫切需求。與國際巨頭 KLA、 AMAT、 Hitachi 相比，一方面，國內企業整體技術水平存在一定差距，另一方面較多國內企業的自研產品還處于客戶驗證等初級階段，商業化程度不高，距離大規模、批量化交付，還需要較長的時間。

更多行業資料請參考普華有策咨詢《2024-2030年前道量檢測設備行業市場調研及發展趨勢預測報告》，同時普華有策咨詢還提供市場專項調研項目、產業研究報告、產業鏈咨詢、項目可行性研究報告、專精特新小巨人認證、市場占有率報告、十五五規劃、項目后評價報告、BP商業計劃書、產業圖譜、產業規劃、藍白皮書、國家級制造業單項冠軍企業認證、IPO募投可研、IPO工作底稿咨詢等服務。

目錄

第一章 前道量檢測設備行業相關概述

第一節 前道量檢測設備行業定義及分類

一、行業定義

二、行業特性及在國民經濟中的地位及影響

第二節 前道量檢測設備行業特點及模式

一、前道量檢測設備行業發展特征

二、前道量檢測設備行業經營模式

第三節 前道量檢測設備行業產業鏈分析

一、產業鏈結構

二、前道量檢測設備行業主要上游2019-2023年供給規模分析

三、前道量檢測設備行業主要上游2019-2023年價格分析

四、前道量檢測設備行業主要上游2024-2030年發展趨勢分析

五、前道量檢測設備行業主要下游2019-2023年發展概況分析

六、前道量檢測設備行業主要下游2024-2030年發展趨勢分析

第二章 前道量檢測設備行業全球發展分析

第一節 全球前道量檢測設備市場總體情況分析

一、全球前道量檢測設備行業的發展特點

二、全球前道量檢測設備市場結構

三、全球前道量檢測設備行業市場規模分析

四、全球前道量檢測設備行業競爭格局

五、全球前道量檢測設備市場區域分布

第二節 全球主要國家（地區）市場分析

一、歐洲

1、歐洲前道量檢測設備行業市場規模

2、歐洲前道量檢測設備市場結構

3、2024-2030年歐洲前道量檢測設備行業發展前景預測

二、北美

1、北美前道量檢測設備行業市場規模

2、北美前道量檢測設備市場結構

3、2024-2030年北美前道量檢測設備行業發展前景預測

三、日韓

1、日韓前道量檢測設備行業市場規模

2、日韓前道量檢測設備市場結構

3、2024-2030年日韓前道量檢測設備行業發展前景預測

四、其他

第三章 《國民經濟行業分類與代碼》中前道量檢測設備所屬行業2024-2030年規劃概述

第一節 2019-2023年所屬行業發展回顧

一、2019-2023年所屬行業運行情況

二、2019-2023年所屬行業發展特點

三、2019-2023年所屬行業發展成就

第二節 前道量檢測設備行業所屬行業2024-2030年規劃解讀

一、2024-2030年規劃的總體戰略布局

二、2024-2030年規劃對經濟發展的影響

三、2024-2030年規劃的主要目標

第四章 2024-2030年行業發展環境分析

第一節 2024-2030年世界經濟發展趨勢

第二節 2024-2030年我國經濟面臨的形勢

第三節 2024-2030年我國對外經濟貿易預測

第四節2024-2030年行業技術環境分析

一、行業相關技術

二、行業專利情況

1、中國前道量檢測設備專利申請

2、中國前道量檢測設備專利公開

3、中國前道量檢測設備熱門申請人

4、中國前道量檢測設備熱門技術

第五節2024-2030年行業社會環境分析

第五章 普華有策對前道量檢測設備行業總體發展狀況

第一節 前道量檢測設備行業特性分析

第二節 前道量檢測設備產業特征與行業重要性

第三節 2019-2023年前道量檢測設備行業發展分析

一、2019-2023年前道量檢測設備行業發展態勢分析

二、2019-2023年前道量檢測設備行業發展特點分析

三、2024-2030年區域產業布局與產業轉移

第四節 2019-2023年前道量檢測設備行業規模情況分析

一、行業單位規模情況分析

二、行業人員規模狀況分析

三、行業資產規模狀況分析

四、行業市場規模狀況分析

第五節 2019-2023年前道量檢測設備行業財務能力分析與2024-2030年預測

一、行業盈利能力分析與預測

二、行業償債能力分析與預測

三、行業營運能力分析與預測

四、行業發展能力分析與預測

第六章 POLICY對2024-2030年我國前道量檢測設備市場供需形勢分析

第一節 我國前道量檢測設備市場供需分析

一、2019-2023年我國前道量檢測設備行業供給情況

二、2019-2023年我國前道量檢測設備行業需求情況

1、前道量檢測設備行業需求市場

2、前道量檢測設備行業客戶結構

3、前道量檢測設備行業區域需求結構

三、2019-2023年我國前道量檢測設備行業供需平衡分析

第二節 前道量檢測設備產品市場應用及需求預測

一、前道量檢測設備產品應用市場總體需求分析

1、前道量檢測設備產品應用市場需求特征

2、前道量檢測設備產品應用市場需求總規模

二、2024-2030年前道量檢測設備行業領域需求量預測

1、2024-2030年前道量檢測設備行業領域需求產品功能預測

2、2024-2030年前道量檢測設備行業領域需求產品市場格局預測

第七章 我國前道量檢測設備行業運行分析

第一節 我國前道量檢測設備行業發展狀況分析

一、我國前道量檢測設備行業發展階段

二、我國前道量檢測設備行業發展總體概況

第二節 2019-2023年前道量檢測設備行業發展現狀

一、2019-2023年我國前道量檢測設備行業市場規模

二、2019-2023年我國前道量檢測設備行業發展分析

三、2019-2023年中國前道量檢測設備企業發展分析

第三節 2019-2023年前道量檢測設備市場情況分析

一、2019-2023年中國前道量檢測設備市場總體概況

二、2019-2023年中國前道量檢測設備市場發展分析

第四節 我國前道量檢測設備市場價格走勢分析

一、前道量檢測設備市場定價機制組成

二、前道量檢測設備市場價格影響因素

三、2019-2023年前道量檢測設備價格走勢分析

四、2024-2030年前道量檢測設備價格走勢預測

第八章 POLICY對中國前道量檢測設備市場規模分析

第一節 2019-2023年中國前道量檢測設備市場規模分析

第二節 2019-2023年我國前道量檢測設備區域結構分析

第三節 2019-2023年中國前道量檢測設備區域市場規模

一、2019-2023年東北地區市場規模分析

二、2019-2023年華北地區市場規模分析

三、2019-2023年華東地區市場規模分析

四、2019-2023年華中地區市場規模分析

五、2019-2023年華南地區市場規模分析

六、2019-2023年西部地區市場規模分析

第四節 2024-2030年中國前道量檢測設備區域市場前景預測

一、2024-2030年東北地區市場前景預測

二、2024-2030年華北地區市場前景預測

三、2024-2030年華東地區市場前景預測

四、2024-2030年華中地區市場前景預測

五、2024-2030年華南地區市場前景預測

六、2024-2030年西部地區市場前景預測

第九章 普●華●有●策對2024-2030年前道量檢測設備行業產業結構調整分析

第一節 前道量檢測設備產業結構分析

一、市場細分充分程度分析

二、下游應用領域需求結構占比

三、領先應用領域的結構分析（所有制結構）

第二節 產業價值鏈條的結構分析及產業鏈條的整體競爭優勢分析

一、產業價值鏈條的構成

二、產業鏈條的競爭優勢與劣勢分析

第十章 前道量檢測設備行業競爭力優勢分析

第一節 前道量檢測設備行業競爭力優勢分析

一、行業整體競爭力評價

二、行業競爭力評價結果分析

三、競爭優勢評價及構建建議

第二節 中國前道量檢測設備行業競爭力剖析

第三節 前道量檢測設備行業SWOT分析

一、前道量檢測設備行業優勢分析

二、前道量檢測設備行業劣勢分析

三、前道量檢測設備行業機會分析

四、前道量檢測設備行業威脅分析

第十一章 2024-2030年前道量檢測設備行業市場競爭策略分析

第一節 行業總體市場競爭狀況分析

一、前道量檢測設備行業競爭結構分析

1、現有企業間競爭

2、潛在進入者分析

3、替代品威脅分析

4、供應商議價能力

5、客戶議價能力

6、競爭結構特點總結

二、前道量檢測設備行業企業間競爭格局分析

1、不同規模企業競爭格局

2、不同所有制企業競爭格局

3、不同區域企業競爭格局

三、前道量檢測設備行業集中度分析

1、市場集中度分析

2、企業集中度分析

3、區域集中度分析

第二節 中國前道量檢測設備行業競爭格局綜述

一、前道量檢測設備行業競爭概況

二、重點企業市場份額占比分析

三、前道量檢測設備行業主要企業競爭力分析

1、重點企業資產總計對比分析

2、重點企業從業人員對比分析

3、重點企業營業收入對比分析

4、重點企業利潤總額對比分析

5、重點企業負債總額對比分析

第三節 2019-2023年前道量檢測設備行業競爭格局分析

一、國內主要前道量檢測設備企業動向

二、國內前道量檢測設備企業擬在建項目分析

三、我國前道量檢測設備市場集中度分析

第四節 前道量檢測設備企業競爭策略分析

一、提高前道量檢測設備企業競爭力的策略

二、影響前道量檢測設備企業核心競爭力的因素及提升途徑

第十二章 普華有策對行業重點企業發展形勢分析

第一節 企業五

一、企業概況及前道量檢測設備產品介紹

二、企業核心競爭力分析

三、企業主要利潤指標分析

四、2019-2023年主要經營數據指標

五、企業發展戰略規劃

第二節 企業二

一、企業概況及前道量檢測設備產品介紹

二、企業核心競爭力分析

三、企業主要利潤指標分析

四、2019-2023年主要經營數據指標

五、企業發展戰略規劃

第三節 企業三

一、企業概況及前道量檢測設備產品介紹

二、企業核心競爭力分析

三、企業主要利潤指標分析

四、2019-2023年主要經營數據指標

五、企業發展戰略規劃

第四節 企業四

一、企業概況及前道量檢測設備產品介紹

二、企業核心競爭力分析

三、企業主要利潤指標分析

四、2019-2023年主要經營數據指標

五、企業發展戰略規劃

第五節 企業五

一、企業概況及前道量檢測設備產品介紹

二、企業核心競爭力分析

三、企業主要利潤指標分析

四、2019-2023年主要經營數據指標

五、企業發展戰略規劃

第十三章 普●華●有●策對2024-2030年前道量檢測設備行業投資前景展望

第一節 前道量檢測設備行業2024-2030年投資機會分析

一、前道量檢測設備行業典型項目分析

二、可以投資的前道量檢測設備模式

三、2024-2030年前道量檢測設備投資機會

第二節 2024-2030年前道量檢測設備行業發展預測分析

一、產業集中度趨勢分析

二、2024-2030年行業發展趨勢

三、2024-2030年前道量檢測設備行業技術開發方向

四、總體行業2024-2030年整體規劃及預測

第三節 2024-2030年規劃將為前道量檢測設備行業找到新的增長點

第十四章 普●華●有●策對 2024-2030年前道量檢測設備行業發展趨勢及投資風險分析

第一節 2019-2023年前道量檢測設備存在的問題

第二節 2024-2030年發展預測分析

一、2024-2030年前道量檢測設備發展方向分析

二、2024-2030年前道量檢測設備行業發展規模預測

三、2024-2030年前道量檢測設備行業發展趨勢預測

四、2024-2030年前道量檢測設備行業發展重點

第三節 2024-2030年行業進入壁壘分析

一、技術壁壘分析

二、資金壁壘分析

三、政策壁壘分析

四、其他壁壘分析

第四節 2024-2030年前道量檢測設備行業投資風險分析

一、競爭風險分析

二、原材料風險分析

三、人才風險分析

四、技術風險分析

五、其他風險分析