晶圓檢測環節:晶圓檢測是指在晶圓完成后進行封裝前,通過探針臺和測試機的配合使用,對晶圓上的裸芯片進行功能和電參數測試。探針臺將晶圓逐片自動傳送至測試位置,芯片的 Pad 點通過探針、專用連接線與測試機的功能模塊進行連接,測試機對芯片施加輸入信號并采集輸出信號,判斷芯片功能和性能在不同工作條件下是否達到設計規范要求。測試結果通過通信接口傳送給探針臺,探針臺據此對芯片進行打點標記,形成晶圓的 Map 圖。該環節的目的是確保在芯片封裝前,盡可能地把無效芯片篩選出來以節約封裝費用。
半導體測試機又稱半導體自動化測試機,與半導體自動化測試系統同義。兩者由于翻譯的原因,以往將 Tester 翻譯為測試機,諸多行業報告沿用這個說法,但現在越來越多的企業將該等產品稱之為 ATE system,測試系統的說法開始流行,整體上無論是被稱為 Tester 還是 ATE system,皆為軟硬件一體。半導體測試機測試半導體器件的電路功能、電性能參數,具體涵蓋直流參數(電壓、電流)、交流參數(時間、占空比、總諧波失真、頻率等)、功能測試等。集成電路測試貫穿了集成電路設計、生產過程的核心環節,具體如下:
第一、集成電路的設計流程需要芯片驗證,即對晶圓樣品和集成電路封裝樣
品進行有效性驗證;
第二、生產流程包括晶圓制造和封裝測試,在這兩個環節中可能由于設計不完善、制造工藝偏差、晶圓質量、環境污染等因素,造成集成電路功能失效、性能降低等缺陷,因此,分別需要完成晶圓檢測(CP, Circuit Probing)和成品測試(FT, Final Test),通過分析測試數據,能夠確定具體失效原因,并改進設計及生產、封測工藝,以提高良率及產品質量。無論哪個環節,要測試芯片的各項功能指標均須完成兩個步驟:一是將芯片的引腳與測試機的功能模塊連接起來,二是通過測試機對芯片施加輸入信號,并檢測輸出信號,判斷芯片功能和性能是否達到設計要求。